变压吸附制氮技术的发展主要是吸附剂技术的发展。1977年，德国埃森矿业研究有限公司（BergauForschung，B.F公司）研制开发了碳分子筛制氮技术以来，日本、美国等发达国家迅速发展起来。

    1981年，中国吉林化工设计研究院研制的碳分子筛通过了省级鉴定，随后中国船舶工业总公司也研制开发了碳分子筛。

    1986年，浙江长兴化工厂采用上海化工研究院的技术生产出碳分子筛，从而成为中国国内碳分子筛的主要生产力量。

    国外大批量生产碳分子筛的企业有德国BF公司、美国Calgon碳公司、日本Takeda化学工业公司和Kuraray化学品公司。

    近年来，我们中国国内碳分子筛的制造技术有了很大提高，以浙江长兴化工厂为代表的碳分子筛的产氮率也接近180Nm3/h·t。 制氮机工艺流程的设计技术与七八十年代相比也有了很大进步。产品氮气的充压和冲洗等流程的采用，提高了氮气回收率和产量。从两塔流程发展到三塔、四塔流程，提高了装置的经济性能。特别是不等势均压的应用，使均压后的两个吸附塔内氮气纯度不同，从而降低排空气体的含氮量，提高回收率。

    从变压吸附制氮设备的配置来看，国内制氮机的主要工艺流程是以碳分子筛作为吸附剂，采用双塔流程，在0.6-0.8Mpa吸附压力下，利用加压吸附和常压解吸流程，提取氮气。这种配置能耗低，在0.3-0.4Nm3/kw·h左右。 最新碳分子筛的研究技术是向碳分子筛中添加氧化铁，以其磁性增加碳分子筛对氧气的选择吸附特性。日本有过书面报道，大连理工大学也进行了这方面的研究。现在，变压吸附制氮技术生产的氮气纯度能够达到99.999%以上。

    从目前制氮技术的应用来看，碳分子筛技术成为主流技术。沸石分子筛技术由于处理原料气和真空解吸等步骤繁杂，应用较少。尽管沸石分子筛技术可以提取高纯氮气，不过能耗高、产氮规模也在200Nm3以下。高纯氮气的制取，一般采用加碳脱氧或者加氢脱氧纯化技术。

    随着吸附剂制造技术的进一步发展和制氮工艺流程的改进，变压吸附制氮机以其明显的经济效益、卓越的使用性能和简单的操作维护，在各个行业的市场应用前景将更加广阔。

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